半導(dǎo)體及太陽能薄膜工藝會運用到超高純硅烷SiH4、磷烷PH3，砷烷AsH3、乙硼烷B2H6、六氟化鎢WF6、高純氨NH3等特氣，這些氣體具有易燃、劇毒、強腐蝕等特性，但卻是精細半導(dǎo)體電子元器件、新能源光電產(chǎn)品制造的必不行少的重要原料。生產(chǎn)中若產(chǎn)生氣體泄漏，將會構(gòu)成十分嚴重的產(chǎn)品質(zhì)量和人身傷亡事故。為保證安全，此類高純特氣的運送管道選用不銹鋼雙層管道。該管道施工時，對作業(yè)環(huán)境潔凈度、管道表里管材的潔凈度、焊接和設(shè)備質(zhì)量的要求都十分高。本篇就超高純特氣雙層管道的施工提出幾點主張供同行參閱。2.工藝原理 選用水平15°歪斜擺放姿態(tài)進行加工，順管內(nèi)介質(zhì)流向高純氮氣（99.9999%）進行吹掃，不銹鋼繃簧填充雙層管夾層后用專用彎管設(shè)備進行彎管加工，雙層管道表里充純氬（99.9999%）維護的全主動軌道氬弧焊銜接和柔性金屬墊片端面密封銜接，結(jié)合氦氣檢漏的工藝原理，保證表里層管道潔凈度、密閉性、彎管質(zhì)量以及管道焊接設(shè)備質(zhì)量。3 加工設(shè)備操作要害3.1 潔凈區(qū)域操控 現(xiàn)場設(shè)置三段預(yù)制加工潔凈區(qū)域，樹立臨時潔凈室，要求凈化等級不低于9級，保證管件加工的潔凈度，進入潔凈室的人員有必要穿戴潔服、潔凈帽、潔凈鞋、潔凈手套。

3.2管道加工3.2.1管口加工 管口的加工是本施工技能的要害點之一，管道切開、預(yù)制均在潔凈環(huán)境進行，一起保證管道切開前外表無有害痕跡、破損。管道開封前應(yīng)做好管內(nèi)沖氮的準備工作。管道在取掉兩層塑料外包裝后，要輕輕的取下兩頭的塑料密封套，并立即充氮，防止空氣污染。管道切開時運用不銹鋼專用切開器緩慢進行切開，操作時堅持切面直度(90°±0.5)。管道水平15°橫放固定歪斜擺放姿態(tài)進行切開及端面處理，并順介質(zhì)下賤方向沖放高純氮氣，防止切屑進入管內(nèi)。切開后選用端面處理器進行端面處理，銑去毛刺；處理過程中，保證端面朝下(一向堅持端面朝下)，處理后輕輕抖動消除切屑；加工后使切面朝下，從上方擊打5次，然后再次順管內(nèi)介質(zhì)流用高純氮氣沖吹，切開面坐落氮氣下賤方向。切開后和端面處理后如管上附有切屑或其他雜質(zhì)，用無塵布沾異丙醇擦試干凈，無塵布運用應(yīng)遵循“一次擦”的原則，不能重復(fù)運用。

3.2.2 彎管加工 慣例雙層管彎頭需定做，定做制品成本高，而且質(zhì)量不易得到保證。施工中，可通過規(guī)劃運用彎管設(shè)備，現(xiàn)場制造彎頭，解決此加工問題。在雙層管道彎管時，于表里管間套不銹鋼繃簧圈，作為表里管傳力物，保證彎管過程中表里管的真圓度，使彎管質(zhì)量達到要求。直管段外層管亦選用繃簧圈支墊，保證雙層管夾層空間距離，起到雙層管維護效果。彎管時不行取開管道兩頭的封頭，彎頭成型后視點偏差不大于5°。

3.3.2 主動焊接施工 半制品和制品的維護措施應(yīng)及時有用，加工完結(jié)或焊接完結(jié)后及時將管子兩頭密封。焊接管子對口有必要為正方并緊密銜接，在對口位置所答應(yīng)的圓角和倒為壁厚的十分之一，銜接口需在鎢極的中心位置。焊接時，按要求進行內(nèi)充氬維護，操控氬氣流量巨細。焊工施焊時，要求氬弧焊機焊接時電流穩(wěn)定，焊接速度應(yīng)堅持均勻共同。焊接完結(jié)后，鋼絲刷刷去焊接區(qū)外外表的氧化膜。見圖3.3。

3.3 管道焊接3.3.1 主動焊接試樣制造 根據(jù)焊接工藝鑒定和焊接工藝規(guī)程，嚴格焊接操作。 為加強焊接質(zhì)量的辦理，每天正式實施焊接工作前，焊工須對每臺焊機所焊標準進行樣本制造，查看主動焊接機的工況及作業(yè)人員工藝水平，保證焊接質(zhì)量，樣本通過后方可進行正式焊接操作。在每天焊接結(jié)束前亦制造焊接試樣，所有焊接試樣需妥善保存，作為質(zhì)量檢驗根據(jù)。3.3.2 主動焊接施工 半制品和制品的維護措施應(yīng)及時有用，加工完結(jié)或焊接完結(jié)后及時將管子兩頭密封。焊接管子對口有必要為正方并緊密銜接，在對口位置所答應(yīng)的圓角和倒角為壁厚的十分之一，銜接口需在鎢極的中心位置。焊接時，按要求進行內(nèi)充氬維護，操控氬氣流量巨細。焊工施焊時，要求氬弧焊機焊接時電流穩(wěn)定，焊接速度應(yīng)堅持均勻共同。焊接完結(jié)后，鋼絲刷刷去焊接區(qū)外外表的氧化膜。見圖3.3。

3.4 管道與配件及設(shè)備銜接設(shè)備 對于運送易燃、劇毒特殊氣體的雙層管道，其與閥門、氣表及設(shè)備銜接選用金屬墊片面密封接頭（VCR）設(shè)備，金屬墊片選用柔性鎳合金墊片，保證密封嚴密。

3.5 管道設(shè)備 雙層管道焊接碰頭最終接口處，選用增加結(jié)尾滑套的設(shè)備方式在三層管道接頭處完成管道密封，從而使外層套管構(gòu)成一個全體。

在超高純特氣雙層管道的施工中，選用水平15°歪斜擺放姿態(tài)進行加工，順管內(nèi)介質(zhì)流向高純氮氣吹掃，不銹鋼繃簧填充雙層管夾層后用專用彎管設(shè)備進行彎管加工，雙層管道表里充純氬維護的全主動軌道氬弧焊銜接和柔性金屬墊片端面密封銜接結(jié)合氦氣檢漏的施工技能，可保證雙層管道表里層管道潔凈度、密閉性、彎管質(zhì)量以及管道焊接設(shè)備質(zhì)量。對體系建成后運行中的人員安全和產(chǎn)品質(zhì)量起到了很好的根底保障效果。